高純度水素ガスの需要は、半導体をはじめ、電子・ガラス・油脂・金属のさまざまな工業分野において拡大しています。東京ガスケミカルでは、都市ガス、ＬＮＧなどを原料に、高純度水素ガスを発生させる装置を開発し、多くの実績を有しています。時間使用量が50～1,000m3(NTP)の水素ガス製造装置を用意し、お客さまの構内で高純度水素ガスを製造し、安定かつ安価に供給します。
原料都市ガスは、脱硫器で都市ガス中の硫黄成分が除去された後、純水とともに改質器に導入され、水素濃度７５％程度のガスになります。ＣＯ変成器でさらに水素濃度が高められた後、ＰＳＡ装置*で高純度水素ガスに精製されます。
| * | PSA（Pressure Swing Adsorption）装置とは圧力を変化させて特定の成分を分離する装置です。 |
| 基本仕様 | 製造能力 | |||
| 50m3/h ～ 1000m3h | ||||
| 製品水素ガス仕様 | 純度 | 99.999%以上 | ||
| 圧力 | 0.70MPa（PSA出口最大値）以下 | |||
| 露点 | -70℃以下 | |||
| 必要ユーティリティ | 都市ガスまたはＬＮＧ、ＬＰＧ | |||
| 電力（３相 200V） | ||||
| 上水または純水、冷却水、計装空気、窒素 | ||||
1997年から日本で初めて、都市ガス改質によるオンサイト水素供給システムの商業化を開始し、今日まで数多くの実績を有しています。
