99%〜99.99995%の「高純度メタン」, 豊富なバリエーションで応えます。

高純度メタンは、先端技術の高度化にともなって求められる高性能化・高品質へのニーズに応えて、超硬工具におけるコーティング・アモルファス太陽電池・複写機の感光ドラム、ダイヤモンド薄膜形成など、高度機能を要求するさまざまな産業用途に幅広く利用されています。

高純度メタンの純度は、低温精密蒸留によって不純物を極限まで除去した6N5(純度99.99995%以上)の超高純度メタンまで、豊富なバリエーションで供給しています。

用途
超硬工具 超硬チップへの炭化チタン、炭化タングステン、
炭化クロムなどのコーティング
アモルファス太陽電池 シリコンカーバイド膜の製造
半導体デバイス 低誘電率(low-k)層間絶縁膜の製造、
ドライエッチングやパワー半導体の材料
感光体ドラム シリコンカーバイド膜の製造
カーボン膜 コーティングや各種保護膜(耐摩耗性、耐酸化性、耐湿性)の製造
ダイヤモンド薄膜 高機能半導体への利用
グラフェン 透明電導膜(ITO代替)、高速トランジスタ等への展開
標準ガス 高精度な分析に使用する標準ガスの原料
品質
品質 6N5 6N 5N5 4N5 3N
純度(Vol%) ≧99.99995 ≧99.9999 ≧99.9995 ≧99.995 ≧99.9
H2(ppm) < 0.10 < 0.10 < 0.10 - -
N2(ppm) < 0.20 < 0.50 < 2.00 < 15.00 < 700.00
O2+Ar(ppm) < 0.05 < 0.10 < 0.10 < 2.00 < 10.00
CO(ppm) < 0.05 < 0.10 < 0.10 - -
CO2(ppm) < 0.05 < 0.10 < 0.10 < 1.00 < 1.00
C2H6(ppm) < 0.05
(THCとして)
< 0.10
(THCとして)
< 0.10
(THCとして)
< 1.00
(THCとして)
< 200.00
(THCとして)
C3H8(ppm)
露点(℃)
(ppm)
(<-72)
< 2.00
(<-72)
< 2.00
(<-72)
< 2.00
(<-72)
< 2.00
(<-65)
< 5.00
供給形態 純度・使用量に合わせて、最適な荷姿でご提案します。

お客さまの目的に合わせて、最適な純度のメタンを選択できるとともに、供給形態として、ガスではシリンダーまたはカードル、液体では超低温液化ガス容器(LGC)などから選ぶことができます。純度・使用量に合わせて最適な荷姿をご提案いたします。

供給形態 図


横浜製造センター

隣接する東京ガス根岸LNG基地から原料を受け入れ、原料から生産、輸送まで、万全の体制で全国のお客さまに供給します。

横浜製造センター